高溫燒結爐的工藝流程，看了您都懂
瀏覽次數：2078發布日期：2021-11-15
高溫燒結爐是一款*運用微波燒結原理而研制的一款設備，使用方法如下：
1.開總電閘、機柜電閘。打開磁控管冷卻水的進水閥，水流量大于199，調至1000左右流量。觀察機柜中各冷卻水軟管是否滲水、漏水。如有此現象，停止操作，待修。樣品放置，石英轉盤上依次放置保溫磚、保溫棉，坩堝用保溫棉包裹。紅外對焦，按一下紅外對焦儀的上按鈕，可看到紅外焦點，使焦點對準坩堝中心；對焦后，關閉紅外對焦，并確認。
2.關閉爐門，如果爐門右側有縫隙，需將爐門軸的連接處向里推。確認控制面板的“放氣閥”關，機柜中手動放氣白閥關，真空泵抽氣閥關，真空泵水閥開，點控制面板的“真空1”，打開真空泵，微開真空泵手動抽氣閥，順序不可顛倒。(如果顛倒順序，由于抽氣瞬間的氣量太大，真空泵的出水管會劇烈震動，水四處噴濺)。
3.設置真空上下限，控制面板中真空度，點上限，設置3.0KPa，點下限，設為2.0KPa，真空度在上下限之間變動，低真空度由水環泵的特性決定。(真空抽氣管處的自動閥動作：真空泵啟動，電子抽氣閥開，開始抽氣，至真空下限值，閥關閉，爐腔壓力回升至上限值，閥開，繼續抽氣，即上限值為閥開啟，下限值為閥關閉)
4.設置溫控儀的加熱程序
長按SET鍵，4s后進入編程，依次按SET，分別顯示TD(00是以秒計時、01是以分鐘計時)、STA(00，加熱起始段號)、LOOP(00，程序運行終止后，再次重復運行的起始段號，適用于多次熱處理)，以上默認設定值均不動。
以下參數可以更改，TI00是加熱起始段的加熱時間，SU00是加熱起始段的終止溫度，“∧”鍵增加設定值，“∨”鍵減小設定值，“<”光標左移，可修改光標處的數字，每個參數設定完后，點SET保存，同時顯示可修改的下一參數，以此類推，依次設定TI01、SU01、TI02、SU02、TI03、SU03……，后一段，加熱終止，TI**的設定值為0，SU**的設定值為0，程序運行至該段，微波停止加熱。長按SET鍵，退出至實時顯示界面。
注意：①溫控儀的低設定、實時顯示溫度為350℃；②SU00的設定值應超過350℃，(否則溫度顯示實際值一直為350℃，故障)TI00是350℃至SU00目標值的時間。②如實時顯示界面的當前加熱段不是起始加熱段00，應按SET鍵同時00段。③升溫速率應與材料的吸波能力、微波加熱功率相匹配，對于碳化硅材料，升溫速率為1℃/2s。
如加熱過程中，要從當前段跳入下一段加熱，必須在自動控制狀態下，即SEG段號顯示值后有“.”，此時，點SET的同時，按“∧”鍵。
如在加熱中，突然要停止加熱，按“<”，進入暫停，PV值控制在當前時間的SV值上，控制面板“微波”關。
5.微波加熱
溫控儀的實際PV值只有在350℃以上時，微波加熱才可實現自動控制。由室溫加熱至350℃時，微波手動控制，控制面板，點“微波”，手動加減微波，同時確認溫控儀在手控狀態，即SEG段號的數字后無“.”(無“.”，為儀表手控狀態，此時當前段的SV值暫停變化，顯示為控制曲線當前段、當前時間的溫度，350℃以下無設定值)。
在實時顯示界面下，點溫控儀的“<”鍵，可進入自控狀態，此時SV設定值隨控制曲線設定的程序變化，當SV值超過350時，點“<”鍵，設定值變化暫停，此時加減微波功率，觀察溫控表PV值的變化，當PV值接近SV設定值時，點控制面板“自動”，微波自動控制加熱，同時使溫控儀進入自動控制狀態(即SEG段號的數字后有“.”)。
注意觀察，如果PV值的變化能夠跟上SV值的變化，同時微波加熱功率沒有超過3KW，且在加熱腔內沒有出現“藍弧”等離子體，則升溫速率是合理的；如果PV值雖能跟上SV的變化，但微波功率已達極限5KW，且微波加熱腔內出現嚴重的“藍弧”等離子體，則應降低升溫速率，溫控儀，點“<”鍵，控制曲線暫停，長按SET鍵，4s后進入參數修改，延長TI**當前段的加熱時間，計算出升溫速率，長按SET回到當前控制段，點“<”鍵，溫控儀進入自動控制，繼續觀察PV值與SV值的變化關系。(避免出現PV值遠跟不上SV值的變化、微波加熱功率達極限的情況，應提前對溫控儀的升溫速率進行調節)。
合理的升溫曲線必須保證：在自動控制狀態下，①PV值能跟上SV值的變化；②微波加熱功率合理；③無“藍弧”等離子體出現。微波功率不是越高，加熱效果越好，而是決定于材料的吸波能力，如材料吸波有限，微波反射能高，多余的微波能將使氣體電離，產生“藍弧”等離子體，產生的超高溫會破壞感溫探頭和真空密封件。
6.高溫燒結爐關機
加熱完成后，需要充分的冷卻，否則如果加熱腔內存在易燃易爆氣體，由于突然泄壓，大量空氣的涌入，易發生爆炸事故，嚴重損壞設備。坩堝加熱至較高溫度時，如果降溫過快，突然泄壓，很容易導致坩堝裂紋，所以應在加熱終止之前，即TI**=0、SU**=0之前的一段，設置一段降溫曲線。
關機按以下步驟進行：確認“微波”停止，在真空條件下充分冷卻，觀察溫控儀的PV值，由于350℃以下的溫度不顯示，需要延長等待冷卻的時間。關手動抽氣閥(防止泵停后，在水壓作用下，水倒吸入加熱腔)，然后關閉控制面板的“真空1”停泵、關真空進水閥。控制面板的“泄氣閥”開。磁控管進水球閥關閉。打開爐門，取出樣品，并清理加熱腔。關機柜的電閘、總電閘。
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